Skillnad mellan PVD och CVD

PVD vs CVD

PVD (Physical Damp Deposition) och CVD (Chemical Vapor Deposition) är två tekniker som används för att skapa ett mycket tunt lager av material i ett substrat; vanligen kallad tunna filmer. De används i stor utsträckning vid halvledarproduktion där mycket tunna skikt av material av n-typ och p-typ skapar nödvändiga korsningar. Huvudskillnaden mellan PVD och CVD är de processer som de använder. Som du kanske redan har härledt från namnen använder PVD endast fysiska krafter för att lägga in lagret medan CVD använder kemiska processer.

I PVD förgasas ett rent källmaterial genom indunstning, applicering av kraftenergi, laserablation och några andra tekniker. Det förgasade materialet kondenseras sedan på substratmaterialet för att skapa det önskade skiktet. Det finns inga kemiska reaktioner som äger rum under hela processen.

I CVD är källmaterialet inte rent, eftersom det blandas med en flyktig föregångare som fungerar som bärare. Blandningen injiceras i kammaren som innehåller substratet och deponeras därefter i den. När blandningen redan är vidhäftad på substratet sönderdelas prekursorn så småningom och lämnar det önskade skiktet av källmaterialet i substratet. Biprodukten avlägsnas sedan från kammaren via gasflöde. Nedbrytningsprocessen kan assisteras eller accelereras genom användning av värme-, plasma- eller andra processer.

Oavsett om det är via CVD eller via PVD, är slutresultatet i princip detsamma som de båda skapar ett mycket tunt lager av material beroende på önskad tjocklek. CVD och PVD är mycket breda tekniker med ett antal mer specifika tekniker under dem. De faktiska processerna kan vara olika men målet är detsamma. Vissa tekniker kan vara bättre i vissa applikationer än andra på grund av kostnad, lätthet och en rad andra orsaker. sålunda är de föredragna i det området.

Sammanfattning:

1. PVD använder endast fysiska processer medan CVD huvudsakligen använder kemiska processer
2. PVD använder vanligtvis ett rent källmaterial medan CVD använder ett blandat källmaterial